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废气的生物处理是利用微生物的生命过程吧废气中的气态污染物分解转化成少甚至无害的物质。生物处理不需要再生和其它处理过程，与其他净化法相比，具有设备简单、能耗低、安全可靠、无二次污染等优点，但是不能回收利用污染物质。生物法主要包括生物过滤法、生物洗涤法和生物滴滤法三种工艺。
VOCs废气的生物净化是微生物通过代谢活动，将废气中的VOCs转化为简单的无机物(CO2，水等)及细胞组成物质的过程。由于气、液相(或固体表面液膜)之间的有机物浓度梯度和水溶性的作用，废气中的污染物首先要经过气、液相间的传质过程，然后在液相中被微生物降解，产生的代谢物一部分溶于液相，一部分作为细胞物质或细胞代谢能源，还有一部分(如CO2)则从液相转移到气相。废气中的污染物通过上述过程不断减少，从而被净化。
用于降解气相污染物的微生物种类很多，根据能源利用情况可以分为自养菌和异养菌：自养菌利用无机碳作为能源，因此一般存在于生物除臭塔中；异养菌则是通过氧化有机物来获得能量，在适宜的温度、pH值和有氧的条件下，能较快地完成降解过程。在生物滤塔运行初期，微生物对污染物有一个适应过程，其种群和数量分布逐步向适宜于处理目标污染物的情况转变。在通常情况下，对易降解的有机物，大约需10天时间，而对于难降解的有机物，所需时间则更长。
生物过滤法
生物过滤法处理VOCs废气的工艺流程如图所示。VOCs废气通过增湿塔增湿后进入生物滤塔，流经约0.5~1 m厚的生物活性填料层，在这过程中，污染物从气相传入生物相，进而被氧化分解。生物过滤法工艺简单，易于操作，而且滤料具有表面积大、吸附性能好的特性，可大大减缓入口负荷变化引起的净化效率的波动。
对于大气量、低浓度的VOCs可采用生物过滤系统，该系统工艺简单、操作方便。
生物洗涤法
生物洗涤法的工艺流程如图所示。生物洗涤塔由一个吸收塔和一个再生池构成，洗涤液(循环液)自吸收室顶部喷淋而下，废气中的VOCs和O2在这个过程中传入液相。吸收了VOCs的洗涤液再进入再生池(活性污泥池)中，洗涤液中的VOCs被再生池中的活性污泥降解，再生后的洗涤液循环使用。目前，常用的洗涤设备为喷淋塔，也可以采用多孔板式塔和鼓泡塔。净化气量小、浓度大且生物代谢速度较低的气体污染物时，可采用以穿孔板式塔、鼓泡塔为吸收设备的生物洗涤器（一般地，若气相传质阻力较大，可用多孔板式塔；反之，液相传质阻力较大时则用鼓泡法），以增加气液接触时间和接触面积，但系统的压降较大。对于易溶气体则可以采用生物喷淋塔。
由于生物洗涤器的循环洗涤液需采用活性污泥法来再生，所以在通常情况下，循环洗涤液主要是水，因此，该方法只适用于水溶性较好的VOCs，如乙醇、乙醚等，而对于难溶的VOCs，该方法则不适用。
生物滴滤法
生物滴滤是介于生物过滤与生物洗涤的一种生物法废气净化方法。滴滤塔中填充一定体积的惰性填料，为微生物提供一定的附着面。在生物滴滤塔中，液相是连续流动的，且进行一定的循环，如图所示，循环液由滴滤塔的顶部向下喷淋，并沿着填料滴流而下同时控制着床层的湿度。循环液为微生物提供分解有机物所必需的水分和营养液。VOCs由滴滤塔的底部至上运动，流经表面附有微生物的填料，与微生物接触后被降解。对于负荷较高，降解过程易产酸的VOCs则宜采用生物滴滤法。
